半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会 編

旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数2200語を掲載。より使いやすい実務辞典。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成
  • 第2章 設計工程用語
  • 第3章 マスク製作工程用語
  • 第4章 ウェーハ製造工程用語
  • 第5章 ウェーハ処理工程用語
  • 第6章 組立工程用語
  • 第7章 検査工程用語
  • 第8章 設備・環境工程用語
  • 資料

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 半導体製造装置用語辞典
著作者等 日本半導体製造装置協会
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
出版元 日刊工業新聞社
刊行年月 1991.9
版表示 第2版
ページ数 419p
大きさ 22cm
ISBN 4526029874
NCID BN06743353
※クリックでCiNii Booksを表示
全国書誌番号
92000811
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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