半導体CMP用語事典

精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 編

加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説。付録には、現場実務に必要なデータや関連する単位、CMP装置の年表や、関連学協会機関略称一覧などの便利な情報を掲載。巻末の索引には、英和用語索引を掲載し、使いやすく調べやすい構成。

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 半導体CMP用語事典
著作者等 精密工学会
精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会
書名ヨミ ハンドウタイ CMP ヨウゴ ジテン
出版元 オーム社
刊行年月 2008.10
ページ数 262p
大きさ 19cm
ISBN 978-4-274-20612-2
NCID BA8812697X
※クリックでCiNii Booksを表示
全国書誌番号
21505454
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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