はじめての半導体計測

水野文夫 著

計測の中で、半導体デバイスの研究・開発・製造に用いられる観測技術を「半導体計測」という。半導体デバイスが現在のIT(情報技術)時代・ユビキタス社会(どこにでもコンピュータが存在する社会)を支える土台であるとするならば、半導体計測はその土台を下支えする基礎になり、歩留まり向上などにも重要な役割を果たす。本書は、こうした半導体計測技術の基礎から各手法の内容、またケースごとの半導体計測の原理やポイントについて詳細に解説。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 計測(計測とは
  • 計測の機能
  • 計測の性能
  • トレーサビリティ)
  • 第2章 半導体計測(半導体計測の種類
  • 半導体計測の特徴
  • 半導体計測の手法)
  • 第3章 主な半導体計測(パターン寸法・LER(LWR)・形状の観測
  • 微粒子・パターン欠陥の検査
  • 膜厚の測定
  • ウエーハ表面汚染物質の分析
  • 補足:既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 はじめての半導体計測
著作者等 水野 文夫
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ ケイソク
シリーズ名 ビギナーズブックス 45
出版元 工業調査会
刊行年月 2008.3
ページ数 238p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-7693-1271-0
NCID BA85383262
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全国書誌番号
21476175
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言語 日本語
出版国 日本
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