絵とき「放電技術」基礎のきそ

小林春洋 著

ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 放電・プラズマの概要(放電・プラズマとは
  • 高度情報化社会を支える放電技術 ほか)
  • 第2章 物質の構成要素と気体(物質の最小微粒子
  • 電子の3つの顔 ほか)
  • 第3章 放電プラズマの基礎(電子と分子の衝突
  • 放電開始 ほか)
  • 第4章 放電プラズマ直接応用(スパッタ薄膜
  • プラズマCVD ほか)
  • 第5章 プラズマ・プロセス応用(垂直磁気記録
  • 超LSI ほか)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 絵とき「放電技術」基礎のきそ
著作者等 小林 春洋
書名ヨミ エトキ ホウデン ギジュツ キソ ノ キソ
シリーズ名 Electronics series
出版元 日刊工業新聞社
刊行年月 2007.8
ページ数 178p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-526-05865-3
NCID BA83111192
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全国書誌番号
21290401
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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