プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー

上條榮治 監修

[目次]

  • 総論 プラズマ・イオンビーム技術の新展開
  • 基礎編(プラズマの物理化学
  • イオンビームの物理化学
  • プラズマ装置
  • イオンビーム装置)
  • 機能材料応用編(イオン注入による表面機能材料
  • 薄膜誘電体材料
  • ダイヤモンドおよび関連材料
  • フラーレン
  • 光機能材料
  • 薄膜積層多層材料)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー
著作者等 上條 榮治
書名ヨミ プラズマ イオン ビーム ト ナノテクノロジー
書名別名 プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
シリーズ名 CMCテクニカルライブラリー 252
出版元 シーエムシー
刊行年月 2007.3
版表示 普及版
ページ数 316p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-88231-915-3
NCID BA81630064
※クリックでCiNii Booksを表示
全国書誌番号
21283477
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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