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マイクロマシン技術
北原時雄, 石川雄一 監修
[目次]
- 基礎編(マイクロファブリケーション
- マイクロ駆動機構(アクチュエータと機構)
- マイクロエネルギーデバイス
- マイクロメカニカルセンサ)
- 応用編(マイクロ加工表面修飾による新機能発現
- マイクロデバイス
- トータルマイクロシステム)
「BOOKデータベース」より
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書名 |
マイクロマシン技術 |
著作者等 |
北原 時雄
石川 雄一
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書名ヨミ |
マイクロマシン ギジュツ |
書名別名 |
マイクロマシン技術と応用 |
シリーズ名 |
CMCテクニカルライブラリー 250
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出版元 |
シーエムシー |
刊行年月 |
2007.2 |
版表示 |
普及版 |
ページ数 |
328p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
978-4-88231-912-2
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NCID |
BA81009967
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全国書誌番号
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21265465
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言語 |
日本語 |
出版国 |
日本 |
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