トコトンやさしい超微細加工の本

麻蒔立男 著

超微細加工は薄型ディスプレイやLSIなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしています。原子をもあやつって、いろんなモノを陰で支える基礎技術です。この本では"トコトンやさしい"解説を心がけ、多くの方に「超微細加工」がどんなものであるか、どんなことができるか、将来どのようになっていくのであろうかをわかっていただけるように努めています。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 ナノテクの中核技術、超微細加工(ナノテクでモノ作りその中核超微細加工
  • 超微細加工の加工法 ほか)
  • 第2章 基板作りの基本(基板になるもの
  • ガラスの基板を作る ほか)
  • 第3章 基板にパターンを転写(光を使った露光
  • 電子ビームで露光 ほか)
  • 第4章 薄膜の作り方とその性質(薄膜とその作り方
  • 真空とその単位 ほか)
  • 第5章 さまざまな技術で薄膜を作る(蒸着法のソース
  • レーザアブレーション ほか)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 トコトンやさしい超微細加工の本
著作者等 麻蒔 立男
書名ヨミ トコトン ヤサシイ チョウ ビサイ カコウ ノ ホン
シリーズ名 今日からモノ知りシリーズ
B&Tブックス
出版元 日刊工業新聞社
刊行年月 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
ISBN 4526052264
NCID BA6567423X
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全国書誌番号
20546433
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言語 日本語
出版国 日本
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