薄膜化技術

和佐清孝, 早川茂 著

薄膜化技術はナノテクノロジーの基礎。思い通りのナノ材料・デバイスが薄膜化技術で作製できる。最新のデータとノウハウを増補。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1部 薄膜とその応用(薄膜材料
  • 薄膜の形成法と評価
  • スパッタプロセスにおける興味ある現象)
  • 第2部 スパッタの基礎と応用(スパッタの基礎
  • スパッタ装置と動作特性
  • 化合物薄膜とスパッタ蒸着
  • 薄膜構造の精密制御とナノメータ材料)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 薄膜化技術
著作者等 和佐 清孝
早川 茂
書名ヨミ ハクマクカ ギジュツ
出版元 共立
刊行年月 2002.6
版表示 第3版.
ページ数 316p
大きさ 22cm
ISBN 4320086139
NCID BA57243403
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全国書誌番号
20290000
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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