五十嵐伊勢美, 江刺正喜, 藤田博之 編
本書は総合知識を必要とする技術分野を扱っている。特に、マイクロ光学、マイクロ力学の基礎、マイクロマシニング、マイクロオプティカルセンサ、マイクロメカニカルセンサ、マイクロアクチュエータ、マイクロオプティクスなどの最先端技術を、詳細に記述してある。
「BOOKデータベース」より
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